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等离子体清洗工艺的可控性、可重复性，反映在设备.使用上具有经济、环保、高效、高可靠性和易操作性等优点。与传统的溶剂清洗不同，等离子体是依靠其中所包含高能物质的“活化作用”达到清洗材料表面的目的，清洗效果彻底，是一种剥离式清洗。其清洗优势主要体现在以下几个方面：（1）清洗后的材料表面基本没有残留物，并且可以通过选择、搭配不同的等离子体清洗类型，产生不同的清洗效果，满足后续处理工艺对材料表面特性的多种需求；
（2）由于等离子体的方向性不强，因此方便清洗带有凹陷、空洞、褶皱等复杂结构的物件，适用性较强；
（3）可处理多种基材，对待清洗物件的要求较低，因此特别适合清洗不耐热和溶剂的基体材料；
（4）清洗过后无需干燥或其他工序，无废液产生，同时其工作气体排放无毒害，安全环保；
（5）操作简便、易控、快捷，对真空度要求不高或可直接采用大气压等离子体清洗工艺，同时此工艺避免了大量溶剂的使用，因此成本较低。
（6）在完成清洗去污的同时，还能改变材料本身的表面性能。如提高表面的润湿性能，改善膜的附着力等。
等离子体清洗可以处理各种材料．容易采用数控技术，自动化程度高，具有高精度的控制装置，处理效果可控，使成品率大幅度提高，但成本却反而降低。等离子体清洗技术本身具有便于处理各种材料、绿色环保等优点。
